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解決方案

RPD靶材/蒸鍍材料

RPD靶材/蒸鍍材料

主要靶材:Cu、Ti、Al、RPD材料、Yb、Ni、Ag、ITO、ZrO2、H4

能夠沉積高純度、高均勻性、致密穩(wěn)定的膜層,實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的光學(xué)、電學(xué)及機(jī)械性能。高性能靶材在薄膜制備過程中保證材料的一致性和穩(wěn)定性,為平板顯示、光學(xué)、光伏、半導(dǎo)體、功能薄膜等領(lǐng)域提供可靠的材料基礎(chǔ)。

1. RPD靶材應(yīng)用

靶材在RPD工藝中用于高精度薄膜沉積,可實(shí)現(xiàn)低電阻、高透過率及高均勻性的膜層,滿足大面積顯示、觸控屏及光學(xué)器件的嚴(yán)格性能要求。同時,高穩(wěn)定性靶材可支持大規(guī)模量產(chǎn)和重復(fù)加工,提高生產(chǎn)效率。

2. 蒸鍍材料應(yīng)用

靶材可用于物理氣相沉積(PVD)或真空蒸鍍工藝,制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電膜及功能膜層。高純度、高致密度靶材保證膜層均勻性、附著力和化學(xué)穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于顯示面板、太陽能電池、光學(xué)器件、功能玻璃及裝飾鍍膜等高端領(lǐng)域。

作用

  •     提高膜層均勻性與功能性能

  •     提升光學(xué)、電學(xué)及機(jī)械性能,滿足高端應(yīng)用需求

  •     保證材料一致性與大規(guī)模生產(chǎn)穩(wěn)定性