產(chǎn)品介紹
水路背板是一種安裝在濺射靶材背面的冷卻與支撐部件，內(nèi)部設(shè)有精密水道結(jié)構(gòu)。它通過(guò)循環(huán)冷卻水及時(shí)帶走靶材在濺射過(guò)程產(chǎn)生的熱量，保持靶材與設(shè)備的溫度穩(wěn)定，防止熱變形或開(kāi)裂，從而延長(zhǎng)靶材壽命并提高薄膜沉積過(guò)程的穩(wěn)定性和一致性。
在高功率磁控濺射、連續(xù)大面積鍍膜或長(zhǎng)時(shí)間工作條件下，水路背板是不可或缺的配套組件。常用材料為高導(dǎo)熱銅或鋁合金，既能保證良好的導(dǎo)熱性，又具備一定的機(jī)械強(qiáng)度和抗腐蝕性。
水路背板的優(yōu)異特性
眾誠(chéng)達(dá)靶材公司擁有自主核心優(yōu)勢(shì)的旋轉(zhuǎn)靶材幫定技術(shù)，此技術(shù)不僅銦用量少，而且靶材的幫定強(qiáng)度高，導(dǎo)電與導(dǎo)熱性能更好，解決靶材使用過(guò)程中出現(xiàn)的脫靶與裂靶問(wèn)題。
使用這種幫定技術(shù)生產(chǎn)的靶材，能夠滿足大功率濺射的要求，我司的AZO旋轉(zhuǎn)靶材承諾濺射功率>15KW/M
先進(jìn)的幫定技術(shù)能有效降低銦的使用量，使靶材降低成本變?yōu)榭赡堋?nbsp;
為客戶設(shè)計(jì)生產(chǎn)水路銅背板并提供幫定服務(wù)。
技術(shù)特性
綁定貼合度
＞98%
應(yīng)用場(chǎng)景
旋轉(zhuǎn)靶綁定
平面靶綁定
聯(lián)系我們
