產(chǎn)品介紹
在大面積鍍膜生產(chǎn)線上，旋轉(zhuǎn)靶是一種常見的濺射靶材形式。所謂“旋轉(zhuǎn)靶綁定”，就是把圓柱形靶材與設(shè)備陰極系統(tǒng)牢固結(jié)合，使其在工作時(shí)能夠平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)、均勻消耗，同時(shí)保證水冷、氣體和電流的可靠傳輸。
綁定工藝直接關(guān)系到靶材使用壽命、膜層均勻性和設(shè)備穩(wěn)定性。一個(gè)好的綁定方案能讓靶管在高速旋轉(zhuǎn)中保持同心不晃動(dòng)，不漏水、不漏氣，電接觸穩(wěn)定，膜層更均勻。
旋轉(zhuǎn)靶綁定優(yōu)異特性
保證靶材在長時(shí)間濺射中均勻消耗，延長使用壽命；
改善膜層厚度與成分的均勻性，減少廢品率；
更換快捷，停機(jī)時(shí)間短，提高生產(chǎn)線稼動(dòng)率；
密封可靠，避免水冷泄漏導(dǎo)致設(shè)備停機(jī)。
技術(shù)特性
綁定服務(wù)
為客戶提供背板綁定服務(wù)
應(yīng)用場景
氧化鋅靶材
IGZO靶材
氧化銦錫靶材
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