產(chǎn)品介紹
鋁鈦靶材由高純鋁與鈦合金制成，兼具鋁的輕質(zhì)、高反射性以及鈦的高強度、耐腐蝕特性。它適用于物理氣相沉積（PVD）、濺射鍍膜及蒸鍍工藝，可形成均勻、致密的薄膜層，在光學(xué)、電子及功能材料等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
鋁鈦靶材核心優(yōu)勢
高純度和密度
純度通?？蛇_(dá) 99.8% 及以上，密度根據(jù)成分比例不同有所差異，如 Ti33Al67 的密度≥3.29g/cm3，Ti50Al50 的密度≥3.60g/cm3，高純度和密度有助于保證鍍膜質(zhì)量和靶材的使用壽命。
良好的機械性能
鈦鋁合金靶材兼具高強度和耐腐蝕性，其獨特的晶體結(jié)構(gòu)使其在高溫環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定的物理性能，且具有較高的硬度和耐磨性，例如其制備的 TiAlN 涂層可提升材料的切削速度與切削性能。
優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性
鋁合金靶材具有抗氧化特性，在半導(dǎo)體制造中，能長期接觸高純度氣體和等離子體環(huán)境，有效延長使用壽命，其低雜質(zhì)含量確保了鍍膜層的均勻性和導(dǎo)電性。
高濺射效率
鈦鋁合金靶材的晶體結(jié)構(gòu)有利于提升濺射效率，還能顯著降低生產(chǎn)過程中的能耗，同時通過精密熔煉和成型技術(shù)，如真空電弧熔煉或粉末冶金工藝，可使鈦和鋁的原子均勻分布，避免成分偏析，確保靶材在濺射過程中不會因應(yīng)力集中而開裂。
鋁鈦靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造
可用于薄膜沉積，形成導(dǎo)電層、阻擋層或金屬互連層等，其低電阻率和高附著力特性可顯著提升電路性能，還能在長期接觸高純度氣體和等離子體環(huán)境中保持穩(wěn)定，保證微電子器件的可靠性。
平板顯示器
用于平板顯示器中的薄膜晶體管（TFT）、電極等部件的鍍膜，通過精確控制鍍膜的厚度和成分，可以提高顯示器的分辨率、色彩飽和度和響應(yīng)速度，同時降低功耗。
機械加工與工具制造
鈦鋁合金靶材可用于制備 TiAlN 涂層，這種涂層兼具出色的韌性與抗氧化性，可大幅提升鉆頭、刀具、可轉(zhuǎn)位刀片及其他工模具的切削速度與切削性能，延長工具使用壽命。
航空航天
其制備的 TiAlN 涂層可提升發(fā)動機部件、機身結(jié)構(gòu)件的耐高溫、抗腐蝕與耐磨性能，保障航空器在極端環(huán)境下的安全穩(wěn)定運行，如加瑪鈦鋁已用來制造 787 和 747-8 飛機的低壓渦輪槳片。
汽車行業(yè)
隨著新能源汽車與高端燃油車對零部件精度與耐用性要求的提升，鈦鋁合金靶材涂層廣泛應(yīng)用于發(fā)動機氣門、變速箱齒輪等關(guān)鍵部件，延長零部件使用壽命，提升整車性能。
光學(xué)器件
其制備的涂層可優(yōu)化鏡片的透光性、耐磨性與抗反射性能，提升光學(xué)設(shè)備的成像質(zhì)量，還可用于制造高反射率的鏡面涂層，滿足激光雷達(dá)等先進(jìn)設(shè)備的苛刻要求。
醫(yī)療器械
在醫(yī)療器械領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，如鈦鋁合金的生物相容性和低毒性使其可用于制造骨科植入物、牙科植入物等。
技術(shù)特性
純度
99.5%-99.9%
配比
常用比例90:10、80:20、70:30、50:50（可定制比例）
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
平板顯示器
機械加工與工具制造
航空航天
光學(xué)器件
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