產(chǎn)品介紹
在真空濺射鍍膜領(lǐng)域,材料的物理性能直接決定薄膜質(zhì)量與生產(chǎn)效率,而銅靶材憑借與生俱來的卓越導(dǎo)電性,優(yōu)異導(dǎo)熱性,成為半導(dǎo)體制造、顯示面板、光伏產(chǎn)業(yè)、動(dòng)力電池等高端制造領(lǐng)域的 “核心材料”。銅靶材獨(dú)特的性能優(yōu)勢,不僅保障了濺射過程的穩(wěn)定高效,更賦予了鍍膜產(chǎn)品優(yōu)異的功能性與可靠性,是濺射鍍膜領(lǐng)域的優(yōu)選靶材。
銅靶材核心優(yōu)勢:純度和晶粒
超高純度,雜質(zhì)極低
銅靶材采用99.9%(3N)至 99.9999%(6N)高純度電解銅為原料,通過多道提純工藝(電解精煉、區(qū)域熔煉)嚴(yán)格控制氧、硫、鐵等雜質(zhì)含量,確保銅靶材濺射薄膜均勻無缺陷,滿足精密電子元件的性能要求,彰顯銅靶材的核心品質(zhì)優(yōu)勢。晶粒尺寸均勻性
銅靶材晶粒均勻、取向一致。銅靶材微觀檢測時(shí)可發(fā)現(xiàn)晶粒排列緊密、取向一致,這樣能保證銅靶材濺射過程的穩(wěn)定性和薄膜質(zhì)量的均勻性,提升銅靶材的濺射性能。優(yōu)異物理性能,穩(wěn)定濺射
銅是紅橙色金屬,熔點(diǎn)1083°C,密度8.96g/cm3,具備出色的熱傳導(dǎo)性和導(dǎo)電性。銅靶材在高頻濺射過程中,能快速散熱,避免銅靶材因局部高溫產(chǎn)生變形或開裂,保障鍍膜過程連續(xù)穩(wěn)定,凸顯銅靶材的使用優(yōu)勢。精密成型,適配性強(qiáng)
銅靶材支持平面靶、旋轉(zhuǎn)靶、異形靶等多種規(guī)格定制,尺寸精度控制在 ±0.1mm 以內(nèi),銅靶材表面光潔度 Ra≤0.8μm,可完美適配磁控濺射、離子束濺射等主流鍍膜設(shè)備,減少銅靶材濺射起弧現(xiàn)象,適配多場景鍍膜需求。
銅靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造
銅靶材廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造過程中的金屬布線層(如Cu互連),銅靶材具備優(yōu)異的導(dǎo)電性和熱導(dǎo)性,有效降低電阻和功耗,是先進(jìn)制程中不可或缺的關(guān)鍵材料。顯示面板
在LCD、OLED等平板顯示器的生產(chǎn)中,銅靶材常用于形成導(dǎo)電線路層。相比傳統(tǒng)材料,銅靶材具有更低電阻,可提升顯示響應(yīng)速度和能效,助力顯示面板產(chǎn)業(yè)升級。光伏產(chǎn)業(yè)
銅靶材在CIGS(銅銦鎵硒)薄膜太陽能電池中發(fā)揮核心作用,銅靶材用于形成后電極或中間導(dǎo)電層,助力實(shí)現(xiàn)高光電轉(zhuǎn)換效率與良好穩(wěn)定性,適配光伏產(chǎn)業(yè)高效發(fā)展需求。動(dòng)力電池
銅靶材也被用于鋰電池極片的濺射涂層處理,提升電極附著性與導(dǎo)電性能,有助于提升電池的循環(huán)壽命與能量密度,拓展銅靶材的應(yīng)用邊界。
技術(shù)特性

純度
99.9%(3N)至 99.9999%(6N)

晶粒
銅靶材的晶粒尺寸調(diào)控在 20-100μm 區(qū)間,同時(shí)保證晶粒分布均勻且取向一致,不僅利于優(yōu)化濺射性能,其導(dǎo)電與導(dǎo)熱性能好

低氧
氧含量低于10ppm
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