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銅靶材(Cu)

Copper target

眾誠達(dá)

金屬靶材

銅靶材(Cu)

卓越的導(dǎo)電性
優(yōu)異的導(dǎo)熱性

產(chǎn)品介紹

在真空濺射鍍膜領(lǐng)域,材料的物理性能直接決定薄膜質(zhì)量與生產(chǎn)效率,而銅靶材憑借與生俱來的卓越導(dǎo)電性,優(yōu)異導(dǎo)熱性,成為半導(dǎo)體制造、顯示面板、光伏產(chǎn)業(yè)、動(dòng)力電池等高端制造領(lǐng)域的 “核心材料”。銅靶材獨(dú)特的性能優(yōu)勢,不僅保障了濺射過程的穩(wěn)定高效,更賦予了鍍膜產(chǎn)品優(yōu)異的功能性與可靠性,是濺射鍍膜領(lǐng)域的優(yōu)選靶材。


銅靶材核心優(yōu)勢:純度和晶粒

  • 超高純度,雜質(zhì)極低

    銅靶材采用99.9%(3N)至 99.9999%(6N)高純度電解銅為原料,通過多道提純工藝(電解精煉、區(qū)域熔煉)嚴(yán)格控制氧、硫、鐵等雜質(zhì)含量,確保銅靶材濺射薄膜均勻無缺陷,滿足精密電子元件的性能要求,彰顯銅靶材的核心品質(zhì)優(yōu)勢。
  • 晶粒尺寸均勻性

    銅靶材晶粒均勻、取向一致。銅靶材微觀檢測時(shí)可發(fā)現(xiàn)晶粒排列緊密、取向一致,這樣能保證銅靶材濺射過程的穩(wěn)定性和薄膜質(zhì)量的均勻性,提升銅靶材的濺射性能。
  • 優(yōu)異物理性能,穩(wěn)定濺射

    銅是紅橙色金屬,熔點(diǎn)1083°C,密度8.96g/cm3,具備出色的熱傳導(dǎo)性和導(dǎo)電性。銅靶材在高頻濺射過程中,能快速散熱,避免銅靶材因局部高溫產(chǎn)生變形或開裂,保障鍍膜過程連續(xù)穩(wěn)定,凸顯銅靶材的使用優(yōu)勢。
  • 精密成型,適配性強(qiáng)

    銅靶材支持平面靶、旋轉(zhuǎn)靶、異形靶等多種規(guī)格定制,尺寸精度控制在 ±0.1mm 以內(nèi),銅靶材表面光潔度 Ra≤0.8μm,可完美適配磁控濺射、離子束濺射等主流鍍膜設(shè)備,減少銅靶材濺射起弧現(xiàn)象,適配多場景鍍膜需求。



銅靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域

  1.  半導(dǎo)體制造

    銅靶材廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造過程中的金屬布線層(如Cu互連),銅靶材具備優(yōu)異的導(dǎo)電性和熱導(dǎo)性,有效降低電阻和功耗,是先進(jìn)制程中不可或缺的關(guān)鍵材料。
  2. 顯示面板

    在LCD、OLED等平板顯示器的生產(chǎn)中,銅靶材常用于形成導(dǎo)電線路層。相比傳統(tǒng)材料,銅靶材具有更低電阻,可提升顯示響應(yīng)速度和能效,助力顯示面板產(chǎn)業(yè)升級。
  3. 光伏產(chǎn)業(yè)

    銅靶材在CIGS(銅銦鎵硒)薄膜太陽能電池中發(fā)揮核心作用,銅靶材用于形成后電極或中間導(dǎo)電層,助力實(shí)現(xiàn)高光電轉(zhuǎn)換效率與良好穩(wěn)定性,適配光伏產(chǎn)業(yè)高效發(fā)展需求。
  4. 動(dòng)力電池

    銅靶材也被用于鋰電池極片的濺射涂層處理,提升電極附著性與導(dǎo)電性能,有助于提升電池的循環(huán)壽命與能量密度,拓展銅靶材的應(yīng)用邊界。


技術(shù)特性

  • 純度

    純度

    99.9%(3N)至 99.9999%(6N)

  • 晶粒

    晶粒

    銅靶材的晶粒尺寸調(diào)控在 20-100μm 區(qū)間,同時(shí)保證晶粒分布均勻且取向一致,不僅利于優(yōu)化濺射性能,其導(dǎo)電與導(dǎo)熱性能好

  • 低氧

    低氧

    氧含量低于10ppm

產(chǎn)品視頻

應(yīng)用場景

  • 半導(dǎo)體制造

    半導(dǎo)體制造

  • 顯示面板

    顯示面板

  • 光伏行業(yè)

    光伏行業(yè)

  • 動(dòng)力電池

    動(dòng)力電池

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