眾誠達攜前沿技術(shù)亮相第十七屆全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會，共探薄膜產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新未來
2025.11.21
2025年11月14日至16日，第十七屆全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會暨中國真空學(xué)會薄膜專業(yè)委員會成立四十周年慶典在深圳南山隆重舉行。在這次學(xué)術(shù)研討會的行業(yè)盛會中，深耕薄膜濺射靶材領(lǐng)域 15 年的深圳眾誠達應(yīng)用材料股份有限公司（以下簡稱 “眾誠達”）攜多項核心技術(shù)成果重磅亮相，以自主創(chuàng)新之力破解行業(yè)痛點，為薄膜材料國產(chǎn)化進程注入強勁動能。
此次參會，眾誠達懷揣雙重愿景：一方面向行業(yè)同仁全面展示企業(yè)在關(guān)鍵靶材國產(chǎn)化領(lǐng)域的最新突破，彰顯中國智造的硬核實力；另一方面搭建產(chǎn)業(yè)鏈上下游與科研機構(gòu)的深度交流橋梁，凝聚行業(yè)共識，共同推動薄膜材料技術(shù)的創(chuàng)新迭代與應(yīng)用落地，助力產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
會上，眾誠達在高端薄膜靶材的技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)品創(chuàng)新領(lǐng)域交出亮眼答卷
（1）為打破RPD靶材的國外壟斷，解決國產(chǎn)靶材易噴濺、結(jié)構(gòu)坍塌等問題，提出粉體晶粒度級配與高溫急冷技術(shù)，解決了孔結(jié)構(gòu)調(diào)控難題，實現(xiàn)進口替代，并獲發(fā)明專利3項。該產(chǎn)品助力合作伙伴隆基綠能突破電池效率世界紀(jì)錄。
（2）為解決“高純稀土鋱旋轉(zhuǎn)靶材”制造難題，攻克了真空蒸
餾-等離子體提純技術(shù)，提出了旋轉(zhuǎn)靶材原位消泡澆鑄成型技術(shù)，靶材密度>99%、氧含量<500ppm，獲授權(quán)發(fā)明專利3項。
（3）為解決高Sc含量鋁鈧靶材“成分不均、氧含量超標(biāo)”問
題，提出了金屬提純+晶?？刂萍夹g(shù)，靶材均勻性<±0.2%、氧含量<50ppm，獲授權(quán)發(fā)明專利1項。
（4）為破解氧化錫靶材“致密化與高導(dǎo)電性兼容”難題，提出了多組分摻雜技術(shù)，突破靶材密度>99%同時電阻率<10mΩ·cm，并獲授權(quán)發(fā)明專利2項。
眾誠達持續(xù)攻堅，斬獲多項關(guān)鍵技術(shù)突破。公司近年來突破了5G濾波器和壓電器件用的AlSc、鋯鈦酸鉛靶材，永磁用的Tb、Dy、PrAlCu等稀土靶材，氧化銦基高遷移率TCO，氧化錫、氧化鎳載流子傳輸層，CuGa、CdTe吸光層等光伏電池靶材。標(biāo)桿客戶有隆基、福耀、京東方、藍思科技等等，開發(fā)成果新增營收超3.5億元。
其中，RPD靶材成果被認(rèn)定為“國際先進”水平，實現(xiàn)全面進口替代，讓日本住友等壟斷企業(yè)完全退出中國市場，并助力光伏客戶獲得多項最高轉(zhuǎn)換效率的世界記錄。
產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新是眾誠達技術(shù)突破的重要支撐。企業(yè)已與清華大學(xué)、深圳大學(xué)、上海交通大學(xué)等頂尖高校建立長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，通過共建實習(xí)與研發(fā)基地，加速核心技術(shù)成果轉(zhuǎn)化，實現(xiàn) “產(chǎn)學(xué)研用” 深度融合。同時，眾誠達積極參與行業(yè)協(xié)會工作，主導(dǎo)或參與多項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制定，主動與同行開展技術(shù)交流，以開放姿態(tài)推動產(chǎn)業(yè)整體水平提升。展望未來，企業(yè)將進一步深化產(chǎn)學(xué)研合作，聚焦三大核心方向：攻關(guān)第三代半導(dǎo)體靶材制備技術(shù)，為 5G 和新能源車領(lǐng)域提供關(guān)鍵材料支撐；突破芯片靶材核心技術(shù)，筑牢 AI 技術(shù)發(fā)展的底層材料保障；加大靶材回收與再利用技術(shù)研發(fā)，踐行資源循環(huán)利用理念，降低產(chǎn)業(yè)成本，推動綠色可持續(xù)發(fā)展。